加馬(Gamma)γ 射線能譜分析儀主要由純鍺半導體偵檢器及頻道脈高分析儀所組成。當輻射進入半導體內，因游離作用產生可移動的電洞，並於外電路電阻上感應一脈衝信號，脈衝信號的大小與入射輻射能量成正比，因此，加馬能譜分析儀可應用於加馬放射核種的定性與定量分析。